TEM三維重構(gòu)技術(shù)是電子顯微術(shù)、電子衍射與計算機(jī)圖像處理相結(jié)合而形成的一種有效且高分辨率的三維重構(gòu)方法,用以表征材料三維空間結(jié)構(gòu)。TEM三維重構(gòu)的基本原理基于中心截面定理:任何實空間的三維物體沿電子束方向投影的傅立葉變換是該物體所對應(yīng)的傅立葉空間中通過中心且垂直于投影方向的一個截面,換言之,只要收集樣品在不同方向的投影或同一樣品在不同角度的投影,對每張投影圖進(jìn)行傅立葉變換,按照投影方向填充到三維傅里葉空間對應(yīng)的切面,再進(jìn)行反傅立葉變換,就可得到實空間的三維結(jié)構(gòu)。
TEM三維重構(gòu)樣品臺為實現(xiàn)樣品的三維重構(gòu)可視化而設(shè)計。通過一系列的不同傾斜角獲得樣品的二維成像信息,并對其進(jìn)行處理轉(zhuǎn)化為三維信息,該樣品臺可直接組裝直徑3 mm的銅網(wǎng)樣品,不僅可進(jìn)行樣品的三維重構(gòu),還可用于樣品材料的掃描透射模式下高角環(huán)形暗場成像(HAADF-STEM)的高分辨分析。
TEM三維重構(gòu)樣品臺的作用:
1、可進(jìn)行全角度360°圖像采集,避免鍥形信息丟失;
2、實現(xiàn)精密的樣品軸向旋轉(zhuǎn);
3、適合棒狀樣品或圓錐形樣品;
4、特別適合聚焦離子束(FIB)制備的樣品;
5、特別適合原子探針斷層掃描(APT)和場離子顯微鏡(FIM)的樣品;
6、兼容所有物鏡極靴;
7、中心對稱設(shè)計,消除樣品桿傾斜過程中的重心偏移,減小層析成像過程穩(wěn)定樣品臺的所需時間。