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可在艙內(nèi)鼓入水蒸氣,使得芯片注液(水溶液)時艙內(nèi)達到飽和蒸氣壓,也可配合向艙內(nèi)通入惰性氣體如氮氣、氬氣等保護氣,提高芯片注液成功率,提高實驗效率。芯片環(huán)境制樣倉尺寸支持客戶定制。
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